У спалучэнні з шырокімі перавагамі прадукцыйнасці традыцыйных матэрыялаў падкладкі Al2O3 і BeO кераміка з нітрыду алюмінію (AlN), якая мае высокую цеплаправоднасць (тэарэтычная цеплаправоднасць монакрышталя складае 275 Вт/м²k, тэарэтычная цеплаправоднасць полікрышталя складае 70~210 Вт/м²k). ) , нізкая дыэлектрычная пранікальнасць, каэфіцыент цеплавога пашырэння, які адпавядае монакрышталічнаму крэмнію, і добрыя электраізаляцыйныя ўласцівасці, з'яўляецца ідэальным матэрыялам для падкладак схем і ўпакоўкі ў мікраэлектроннай прамысловасці.Гэта таксама важны матэрыял для высокатэмпературных канструкцыйных керамічных кампанентаў дзякуючы добрым высокатэмпературным механічным уласцівасцям, цеплавым уласцівасцям і хімічнай стабільнасці.
Тэарэтычная шчыльнасць AlN складае 3,26 г/см3, цвёрдасць па MOHS складае 7-8, удзельнае супраціўленне пры пакаёвай тэмпературы больш за 1016 Ом, а каэфіцыент цеплавога пашырэння складае 3,5×10-6/℃ (пакаёвая тэмпература 200 ℃).Чыстая кераміка AlN бясколерная і празрыстая, але з-за прымешак яна будзе розных колераў, такіх як шэры, шаравата-белы або светла-жоўты.
Акрамя высокай цеплаправоднасці, кераміка AlN таксама валодае наступнымі перавагамі:
1. Добрая электраізаляцыя;
2. Падобны каэфіцыент цеплавога пашырэння з монакрышталем крэмнію, пераўзыходзіць такія матэрыялы, як Al2O3 і BeO;
3. Высокая механічная трываласць і аналагічная трываласць на выгіб з керамікай Al2O3;
4. Умераная дыэлектрычная пастаянная і дыэлектрычныя страты;
5. У параўнанні з BeO, цеплаправоднасць керамікі AlN менш залежыць ад тэмпературы, асабліва вышэй за 200 ℃;
6. Высокая тэрмаўстойлівасць і ўстойлівасць да карозіі;
7. Не таксічны;
8. Прымяняцца ў паўправадніковай прамысловасці, хімічнай металургіі і іншых галінах прамысловасці.
Час публікацыі: 14 ліпеня 2023 г