Керамічны канцавы эфектар з тэфлонавым пакрыццём — антіпрыгарная паверхня для адчувальнай апрацоўкі пласцін
Керамічны канцавы эфектар St.Cera з тэфлонавым (PTFE) пакрыццём спалучае ў сабе высокатрывалую алюмініевую падкладку з аднастайным PTFE-пакрыццём з нізкім каэфіцыентам трэння (таўшчыня 15–30 мкм). Пакрыццё забяспечвае надзвычай нізкі каэфіцыент трэння (≤0,1), выдатную хімічную ўстойлівасць і антіпрыгарныя ўласцівасці, прадухіляючы счапленне пласцін і ліквідуючы забруджванне адваротнага боку. Асноўная керамічная падкладка (99,8% Al₂O₃) забяспечвае высокую трываласць на выгіб (361–1000 МПа), зносаўстойлівасць і тэрмічную стабільнасць да 260°C (мяжа пакрыцця). Гэты канцавы эфектар ідэальна падыходзіць для апрацоўкі далікатных, тонкіх або ліпкіх пласцін (напрыклад, пасля нанясення фотарэзістнага пакрыцця або хімічных працэсаў).
Тэхнічныя характарыстыкі (на аснове падкладкі з 99,8% Al₂O₃ з пакрыццём з PTFE):
| Маёмасць | Значэнне |
| Матэрыял падкладкі | 99,8% аксід алюмінію (слановая косць) |
| Пакрыццёвы матэрыял | ПТФЭ (тэфлон) |
| Таўшчыня пакрыцця | 15–30 мкм |
| Каэфіцыент трэння (з пакрыццём) | ≤0,1 |
| Трываласць падкладкі на выгіб (Al₂O₃) | 361 МПа |
| Цвёрдасць падкладкі (Al₂O₃) | 16 ГПа |
| Шчыльнасць субстрата | 3,93 г/см³ |
| Максімальная рабочая тэмпература (мяжа пакрыцця) | 260°C |
| Шурпатасць паверхні (да нанясення пакрыцця) | Ra ≤0,4 мкм |
| Электрычная трываласць (падкладка) | 15×10⁶ В/м |
Заўвага: Пакрыццё з PTFE абмяжоўвае максімальную тэмпературу да 260°C; для больш высокіх тэмператур варта выкарыстоўваць керамічныя або іншыя пакрыцці без пакрыцця.
Прымяненне:
- · Апрацоўка пласцін пасля нанясення фотарэзістнага пакрыцця (ліпкія паверхні)
- · Перадача тонкіх або далікатных вафель (прадухіляе зліпанне)
- · Прылады для кантролю і метралогіі паўправаднікоў
- · Аўтаматызацыя чыстых памяшканняў, дзе забруджванне часціцамі павінна быць мінімізавана
Вытворчы працэс:
Керамічная падкладка спякаецца і дакладна шліфуецца → надае паверхні шурпатасць (плазменнае травленне або дробаструйная апрацоўка) → пакрыццё з PTFE-распыленнем → тэрмічнае зацвярдзенне пры 380°C → канчатковая праверка. Кожны канцавы эфектар правяраецца на таўшчыню пакрыцця (віхравыя токі), адгезію (выпрабаванне на папярочны разрэз ASTM D3359) і каэфіцыент трэння.
Кантроль якасці:
100% візуальны кантроль на наяўнасць адтулін або бурбалак; аднастайнасць таўшчыні пакрыцця ў межах ±5 мкм; адсутнасць расслаення пасля выпрабавання на выгіб 90° на купоне-сведцы. Праверка памераў на адпаведнасць дапушчальнаму каэфіцыенту вытворцы арыгінальнага абсталявання (даўжыня ±0,05 мм, плоскасць ≤0,1 мм).
Перавагі перад непакрытымі або іншымі пакрыццямі:
- · Антыпрыгарная паверхня прадухіляе прыліпанне і паломку пласцін
- · Найменшы каэфіцыент трэння сярод керамічных пакрыццяў
- · Выдатная хімічная ўстойлівасць (кіслоты, шчолачы, растваральнікі)
- · Зніжае ўтварэнне часціц, прадухіляючы перанос матэрыялу
Абмежаванні (заўвагі адносна адхіленняў матэрыялу):
Пакрыццё з ПТФЭ не атрымана з прадстаўленых табліц уласцівасцей матэрыялаў (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Уласцівасці падкладкі строга адпавядаюць прадстаўленаму тэхнічнаму апісанню (99,8% Al₂O₃). Уласцівасці пакрыцця заснаваны на стандартных для галіны спецыфікацыях ПТФЭ, паколькі дадзеныя аб пакрыцці не былі прадстаўлены. Для прымянення пры тэмпературы вышэй за 260°C рэкамендуецца керамічны канцавы эфектар без пакрыцця.*
Налада:
Даступныя даўжыні 150–1500 мм, формы наканечнікаў (з краёвым захватам, Бернулі, плоскія), схемы мантажных фланцаў згодна з чарцяжом арыгінальнага вытворца. Частковае пакрыццё (толькі зоны кантакту) або поўнае пакрыццё па жаданні.
Запытайце ўзор для выпрабаванняў на адгезію і трэнне.
