Ізаляцыйнае кольца з аксіду алюмінію PVD для сістэм фізічнага асаджэння з паравой фазы
Ізаляцыйнае кольца St.Cera, пакрытае метадам PVD, выраблена з высакаякаснага аксіду алюмінію (Al₂O₃) з утрыманнем 99,8% чысціні для выкарыстання ў сістэмах фізічнага напылення з паравой фазы (PVD). Кальцо забяспечвае электрычную ізаляцыю паміж кампанентамі камеры, прадухіляючы дугавыя іскры і забяспечваючы стабільную працу плазмы. Ключавыя ўласцівасці ўключаюць высокую дыэлектрычную трываласць (15×10⁶ В/м), удзельнае супраціўленне >10¹⁴ Ом·мм²/м і тэрмічную стабільнасць да 1600°C. Нашы магчымасці дакладнай апрацоўкі дазваляюць вырабляць вонкавыя дыяметры да 600 мм, унутраныя дыяметры да 0,2 мм, плоскаснасць 0,003 мм і якасць паверхні Ra0,1. Нулявая сітаватасць і хімічная інертнасць кольца забяспечваюць доўгатэрміновую надзейнасць у агрэсіўных асяроддзях распылення.
Тэхнічныя характарыстыкі (на аснове 99,8% Al₂O₃& вытворчыя магутнасці St.Cera):
| Маёмасць | Значэнне |
| Матэрыял | 99,8% аксід алюмінію (слановая косць) |
| Шчыльнасць | 3,93 г/см³ |
| Трываласць на згіб | 361 МПа |
| Цвёрдасць па Вікерсу | 16 ГПа |
| Электрычная трываласць | 15×10⁶ В/м |
| Удзельнае супраціўленне | >10¹⁴ Ом·мм²/м |
| Максімальны вонкавы дыяметр | 600 мм |
| Мінімальны ўнутраны дыяметр | 0,2 мм |
| Максімальная таўшчыня | 100 мм |
| Плоскасць | 0,003 мм |
| Паралелізм | 0,002 мм |
| Аздабленне паверхні | Ra0.1 |
| Максімальная рабочая тэмпература | 1600°C |
Прымяненне:
- · Ізаляцыйныя пласціны-падкладкі мішэні ў сістэмах PVD
- · Праходныя ізалятары камеры
- · Экрануючыя кольцавыя ізалятары ў сістэмах распылення
- · Высокавольтная ізаляцыя ў плазменных камерах
Дакладнасць вырабу:
Канцэнтрычнасць: 0,01 мм, круглявасць: 0,002 мм, прамалінейнасць: 0,005 мм, перпендыкулярнасць: 0,005 мм, праверана КІМ.
Aперавагі перад палімернымі ізалятарамі:
- · Вытрымлівае тэмпературу 1600°C у параўнанні з тэмпературай <300°C для палімера
- · Няма дэгазацыі — захоўваецца цэласнасць вакууму
- · Устойлівасць да плазменнай эрозіі і хімічнага ўздзеяння
Налада:
Даступныя нестандартныя папярочныя сячэнні, мантажныя элементы, ступеністыя профілі і некалькі канструкцый канцэнтрычных кольцаў.
