Керамічны канцавы эфектар з карбіду крэмнію (SiC) — высокая калянасць для апрацоўкі высокатэмпературных пласцін
Керамічны канцавы эфектар St.Cera з карбіду крэмнію SiC выраблены з высакаякаснага карбіду крэмнію (утрыманне SiC 99,72%, свабодны Si 0,05%) з выкарыстаннем матэрыялу S1111. Ён валодае выключнымі механічнымі ўласцівасцямі: трываласць на выгіб 449 МПа (вымярана), модуль пругкасці 457 ГПа (вымярана) і цвёрдасць па Вікерсу 25–28 ГПа (тыповая). Нізкая шчыльнасць (3,10–3,15 г/см³, тыповая) забяспечвае высокую ўдзельную калянасць, ідэальную для высакахуткасных робатаў для пераносу пласцін. З цеплаправоднасцю 120–150 Вт/м·K (тыповая) і каэфіцыентам цеплавога пашырэння 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (тыповая), гэты канцавы эфект эфектыўна рассейвае цяпло і падтрымлівае стабільнасць памераў пры апрацоўцы пры высокіх тэмпературах (да 1600–1700°C, без нагрузкі). Чорна-шэры колер і нулявое водапаглынанне забяспечваюць сумяшчальнасць з чыстымі памяшканнямі.
Тэхнічныя характарыстыкі(на падставе прадстаўленага справаздачы аб выпрабаваннях SiC S1111 і тыповых значэнняў)):
| Маёмасць | Значэнне |
| Матэрыял | Карбід крэмнію (99,72% карбіду крэмнію, 0,05% свабоднага крэмнію) |
| Колер | Чорны/Шэры |
| Шчыльнасць | 3,10–3,15 г/см³ |
| Паглынанне вады | 0% |
| Трываласць на згіб | 449 МПа (сярэдняе) |
| Вязкасць разрушэння | 3,12 МПа·м¹/² (сярэдняе) |
| Модуль пругкасці | 457 ГПа |
| Цвёрдасць па Вікерсу | 25–28 ГПа |
| Цеплаправоднасць (25°C) | 120–150 Вт/м·К |
| КТР (25–1000°C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Максімальная тэмпература выкарыстання (без нагрузкі) | 1600–1700°C |
Прымяненне:
● Апрацоўка пласцін пры высокай тэмпературы (пасля адпалу, RTP, эпітаксія)
● Камеры плазменнага травлення, якія патрабуюць высокай устойлівасці да эрозіі
● Высокахуткасныя перамяшчальныя робаты (лёгкія, высокая калянасць)
Вытворчасць:
Спяканне парашка SiC → дакладнае шліфаванне профілю кранштэйна і мантажных элементаў на станках з ЧПУ → прыцірка паверхняў → ультрагукавая ачыстка. 100% кантроль памераў і праверка на герметычнасць гелія для вакуумных прымяненняў.
Кантроль якасці:
● Праверка даўжыні, шырыні і плоскасці з дапамогай КММ
● Выпрабаванне на трываласць на выгіб для кожнай партыі (паводле стандартнага пратакола выпрабаванняў)
● Візуальны агляд пад мікраскопам на наяўнасць паверхневых дэфектаў
Перавагі перад гліназёмам або металам:
● У 2 разы вышэйшы модуль пругкасці (457 супраць ~380 ГПа для аксіду алюмінію) – меншы прагін
● У 3 разы вышэйшая цеплаправоднасць — хутчэйшае рассейванне цяпла
● Вытрымлівае >1600°C у параўнанні з 800°C аксіду алюмінію на паветры
● Меншая шчыльнасць, чым у сталі – зніжэнне вагі на 40%
Налада:
Даўжыня 150–450 мм, формы наканечнікаў (з краёвым захватам, Бернулі, плоскія), схемы мантажу фланцаў згодна з чарцяжом вытворцы арыгінальнага абсталявання.
*Усе вышэйзгаданыя механічныя дадзеныя ўзятыя з прадастаўленага пратакола выпрабаванняў (партыя S1111). Цеплавыя значэнні і значэнні цвёрдасці тыповыя для гэтай маркі SiC; калі ласка, звяжыцеся з намі для сертыфікацыі па канкрэтнай партыі.*
