Керамічнае кольца з высокачыстага аксіду алюмінію для працэсных камер CVD / PVD
Керамічнае кольца St.Cera спецыяльна распрацавана для выкарыстання ў працэсных камерах CVD (хімічнае асаджэнне з паравой фазы) і PVD (фізічнае асаджэнне з паравой фазы). Вырабленае з 99,8% высокачыстага аксіду алюмінію (Al₂O₃), гэта кольца служыць укладышам камеры, факусуючым кольцам або кампанентам працэснага камплекта для ўтрымання плазмы і абароны сценак камеры ад эрозіі. Матэрыял валодае выдатнай плазмаўстойлівасцю, высокай дыэлектрычнай трываласцю (15×10⁶ В/м) і тэрмічнай стабільнасцю да 1600°C, што забяспечвае працяглы тэрмін службы ў агрэсіўных плазменных асяроддзях на аснове фтору. Дакладныя памерныя допускі (±0,05 мм па ўнутраным/вонкавым дыяметры) і плоскаснасці (≤10 мкм) дазваляюць забяспечыць паслядоўнае пазіцыянаванне краёў пласціны, паляпшаючы аднастайнасць асаджэння і памяншаючы ўтварэнне часціц.
Тэхнічныя характарыстыкі (на аснове 99,8% Al₂O₃):
| Маёмасць | Значэнне |
| Матэрыял | 99,8% аксід алюмінію (слановая косць) |
| Шчыльнасць | 3,93 г/см³ |
| Паглынанне вады | 0% |
| Трываласць на згіб | 361 МПа |
| Вязкасць разрушэння | 3–4 МПа·м¹/² |
| Цвёрдасць па Вікерсу | 16 ГПа |
| Модуль Юнга | 380 ГПа |
| Цеплаправоднасць | 32 Вт/м·к |
| Цеплавое пашырэнне (25–1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Электрычная трываласць | 15×10⁶ В/м |
| Удзельнае супраціўленне | >10¹⁴ Ом·см |
| Максімальная рабочая тэмпература | 1600°C |
Прымяненне:
- · Фокусавальныя кольцы і краёвыя кольцы камеры CVD
- · PVD-ахоўныя кольцы камеры і заціскныя кольцы
- · Укладышы і вечкі камеры травлення
- · Плазменныя кольцы ўтрымання ў сістэмах дыэлектрычнага травлення
Вытворчы працэс:
Ізастатычнае прэсаванне → зялёная апрацоўка → спяканне пры 1600°C → шліфаванне ўнутранага/вонкавага зрэзаў на станку з ЧПУ → прыцірка паверхні → ультрагукавая ачыстка → 100% кантроль КММ. Ультрагладкая паверхня (Ra ≤0,4 мкм) мінімізуе адгезію часціц.
Кантроль якасці:
- · 100% праверка памераў (унутраны дыяметр, знешні дыяметр, таўшчыня, плоскасць)
- · Кантроль паверхні з дапамогай пранікальнай фарбы на наяўнасць мікратрэшчынаў
- · Выпрабаванне электрычнай трываласці паводле ASTM D149
- · Няма бачных змяненняў колеру або сітаватасці пад 20-кратным мікраскопам
Перавагі перад металічнымі або кварцавымі кольцамі:
- · У 5–10 разоў даўжэйшы тэрмін службы, чым алюмініевыя кольцы ў фторнай плазме
- · Адсутнасць металічных забруджванняў у тонкіх плёнках
- · Больш высокая плазмаўстойлівасць, чым у кварца (адсутнасць эрозійных ямак)
- · Захоўвае электрычную ізаляцыю >10¹⁴ Ω·см нават пасля працяглага выкарыстання
Альтэрнатыўны матэрыял — нітрыд крэмнію (Si₃N₄):
Для прымянення, якія патрабуюць яшчэ большай глейкасці разрушэння (6,2 МПа·м¹/²) і лепшай устойлівасці да цеплавых удараў (каэфіцыент пашырэння 3,2×10⁻⁶/℃), даступныя кольцы Si₃N₄. Аднак аксід алюмінію больш эканамічна выгадны для большасці прымяненняў CVD/PVD. Калі ласка, удакладняйце перавагі ў матэрыялах пры замове.
Налада:
- · Скразныя адтуліны, ступеністыя профілі або раззенкаваныя адтуліны для мацавання
- · Паверхня з пакрыццём Y₂O₃ для павышэння плазмастойкасці (па жаданні)
- · Лазернае гравіраванне нумара дэталі / кода партыі
Заўвага:Прыведзеныя вышэй дадзеныя строга адпавядаюць прадстаўленай табліцы ўласцівасцей Al₂O₃. Для кольцаў Si₃N₄ глядзіце асобны ліст дадзеных Si₃N₄.
