12-цалевы вакуумны патрон з аксіду алюмінію для апрацоўкі 300-міліметровых пласцін
12-цалевы вакуумны патрон St.Cera выраблены з дакладнасцю з 99,8% высакаякаснага аксіду алюмінію (Al₂O₃) для апрацоўкі пласцін дыяметрам 300 мм. Патрон мае дробна рыфленую паверхню (шырыня канаўкі 0,5–1,0 мм, крок канаўкі 2–3 мм), што забяспечвае раўнамернае размеркаванне вакууму па ўсім дыяметры 300 мм. Плоскаснасць падтрымліваецца ў межах 5 мкм, што дазваляе фіксаваць пласціны без дэфармацыі падчас нарэзкі, шліфоўкі адваротнага боку і кантролю. Высокая трываласць матэрыялу на выгіб (361 МПа) і цвёрдасць (16 ГПа) гарантуюць доўгатэрміновую стабільнасць памераў нават пры паўторных цыклах вакуумавання.
Тэхнічныя характарыстыкі (на аснове 99,8% Al₂O₃):
| Маёмасць | Значэнне |
| Дыяметр | 300 мм (12 цаляў) |
| Матэрыял | 99,8% аксід алюмінію (слановая косць) |
| Шчыльнасць | 3,93 г/см³ |
| Трываласць на згіб | 361 МПа |
| Цвёрдасць па Вікерсу | 16 ГПа |
| Плоскасць (больш за 300 мм) | ≤5 мкм |
| Шырыня пазы | 0,5–1,0 мм |
| Максімальная рабочая тэмпература | 800°C |
| Электрычная трываласць | 15×10⁶ В/м |
Прымяненне:
Нарэзка і разметка пласцін 300 мм
Шліфаванне адваротнага боку пласціны (тонкая падтрымка пласціны)
Аптычны агляд і зондаванне
Часовыя патроны для склейвання/адклейвання
Вытворчасць:
Шліфоўка і прыцірка на станку з ЧПУ да канчатковай плоскасці, нанясенне алмазных пазоваў, ультрагукавая ачыстка і ўпакоўка ў чыстым памяшканні класа 100. Кожны патрон праходзіць 100% кантроль плоскасці (лазерны інтэрферометр) і глыбіні пазоваў (профілометр).
Перавагі:
Нізкая колькасць часціц (≤0,05 часціц/см²)
Хімічна інертны да растваральнікаў і кіслот
Паверхня, бяспечная для электрастатычнага разраду (супраціўленне >10¹³ Ом·см)
Даступныя нестандартныя шаблоны вакуумных адтулін і задніх партоў.
