Керамічны апорны штыфт для паўправадніковых прыстасаванняў
Керамічныя апорныя штыфты St.Cera (таксама вядомыя як пад'ёмныя штыфты або апорныя штыфты) выкарыстоўваюцца ў паўправадніковых тэхналагічных камерах для ўзняцця пласцін або падложак падчас апрацоўкі, награвання або астуджэння. Вырабленыя з 99,8% аксіду алюмінію або нітрыду крэмнію, гэтыя штыфты забяспечваюць высокую трываласць на сціск, тэрмічную стабільнасць і хімічную ўстойлівасць. Паўсферычная або плоская канструкцыя наканечніка прадухіляе драпіны на пласціне.
Тэхнічныя характарыстыкі(Алюміній 99,8%):
| Маёмасць | Значэнне |
| Матэрыял | 99,8% Al₂O₃ або Si₃N₄ |
| Даўжыня | 10 – 100 мм |
| Дыяметр | 1 – 10 мм |
| Форма наканечніка | Плоскія, паўсферычныя, завостраныя |
| Трываласць на сціск (Al₂O₃) | >2000 МПа |
| Максімальная рабочая тэмпература (Al₂O₃) | 1600°C |
| Аздабленне паверхні | Прыціраны (Ra ≤0,4 мкм) |
| Дапушчальнае адхіленне дыяметра | ±0,01 мм |
Прымяненне:
Пад'ёмныя штыфты ў камерах CVD/PVD
Апорныя штыфты для выпечкі на награвальнай панэлі
Структуры падтрымкі карт зондаў
Апоры для лодак з кварцавай печы
Вытворчасць:
Дакладнае бесцэнтравае шліфаванне вонкавага дыяметра → алмазнае шліфаванне профілю наканечніка → ультрагукавая ачыстка → 100% кантроль памераў.
Кантроль якасці:
КІМ для вымярэння даўжыні/дыяметра, аптычны кампаратар для вымярэння радыуса наканечніка, выпрабаванне нагрузкай для праверкі трываласці на сціск (выпадковая выбарка з партыі). Адсутнасць ферамагнітнага забруджвання (праверана магнітам).
Перавагі перад металічнымі або кварцавымі штыфтамі:
Тэрмін службы ў 5 разоў даўжэйшы, чым у нержавеючай сталі
Адсутнасць забруджвання металам у працоўнай камеры
Высокая тэмпературная ўстойлівасць, чым у кварца (1600°C супраць 1100°C)
Антыпрыгарная паверхня (зніжаная адгезія часціц)
Налада:
Некалькі профіляў наканечнікаў, разьбовая аснова або канічны стрыжань.
Мы таксама пастаўляем SiC-штыфты для экстрэмальных плазменных умоў.
