Газаразмеркавальная пласціна з аксіду алюмінію для душавой галоўкі з CVD/PVD-метадам
Газаразмеркавальная пласціна (душавая галоўка) St.Cera выраблена з высокачыстай керамікі з аксіду алюмінію 99,8%. Яна мае мноства мікраадтулін (дыяметрам 0,3–1,5 мм), якія забяспечваюць раўнамерны паток газу па паверхні пласціны падчас працэсаў CVD, PVD або ALD. Высокая дыэлектрычная трываласць пласціны (>15×10⁶ В/м) і плазменная ўстойлівасць робяць яе неабходнай для нанясення тонкіх плёнак паўправаднікоў.
Тэхнічныя характарыстыкі:
| Маёмасць | Значэнне |
| Матэрыял | 99,8% Al₂O₃ або SiC |
| Дыяметр | 100 – 1500 мм (круглыя) або прастакутныя |
| Таўшчыня | 5 – 20 мм |
| Дыяметр адтуліны | 0,3 – 1,5 мм |
| Шаблон адтулін | Нестандартныя (трохвугольныя, квадратныя, радыяльныя) |
| Плоскасць | ≤10 мкм па ўсёй плошчы |
| Шурпатасць паверхні | Ra ≤0,6 мкм (газавы бок) |
| Суадносіны адкрытай плошчы | 5–15% |
Прымяненне:
Пласціны для душа PECVD
Газавыя фарсункі ALD
Газаразмеркавальныя пласціны камеры травлення
Кампаненты рэактара MOCVD
Вытворчасць:
Алюмініевая падкладка, выраўнаваная плоскім прыціркай → свідраванне на станках з ЧПУ алмазным пакрыццём (дапушчальнае адхіленне адтуліны ±0,02 мм) → выдаленне задзірын → ультрагукавая ачыстка → упакоўка класа 100.
Кантроль якасці:
Кожная пласціна праходзіць 100% кантроль памеру адтуліны (сістэма візуалізацыі), плоскасці (лазерны інтэрферометр) і аднастайнасці патоку газу (картаграфаванне ціску). Пад 20-кратным мікраскопам мікратрэшчыны не выяўлена.
Перавагі перад металічнымі пласцінамі:
Адсутнасць металічных забруджванняў у тонкіх плёнках
Меншае ўтварэнне часціц (адсутнасць карозіі)
Вытрымлівае агрэсіўную ачышчальную плазму (CF₄, NF₃)
Карыстальніцкія функцыі:
Заднія газавыя каналы, раззенкаваныя адтуліны, краёвыя ўшчыльняльнікі і розныя маркі матэрыялаў (SiC для больш высокай цеплаправоднасці, пакрыццё Y₂O₃ для плазмастойкасці).
Мы праводзім праверку CAD і мадэляванне патоку перад вытворчасцю.
