Алюмінава-керамічныя дэталі, бяспечныя ад статычнай электрычнасці, для апрацоўкі статычна адчувальных пласцін

Керамічныя дэталі St.Cera з аксіду алюмінію, бяспечныя да статычнага разраду (ESD), вырабляюцца з высакаякаснага Al₂O₃ з утрыманнем 99,8% чысціні і маюць павярхоўнае супраціўленне 10⁶–10⁹ Ом/кв. см, якое дасягаецца з дапамогай запатэнтаванага працэсу легіравання або пакрыцця. Гэтыя дэталі эфектыўна рассейваюць статычны зарад, прадухіляючы электрастатычнае пашкоджанне адчувальных паўправадніковых пласцін і прылад. Асноўны матэрыял захоўвае высокую трываласць на выгіб (361 МПа), цвёрдасць (16 ГПа) і дыэлектрычную трываласць (15×10⁶ В/м). Да керамічных дэталяў, бяспечных да статычнага разраду, адносяцца канцавыя эфектары, пад'ёмныя штыфты, накіроўвалыя рэйкі і спецыяльныя прыстасаванні для аўтаматызацыі FAB.

Тэхнічныя характарыстыкі(на аснове 99,8% Al₂O₃ з апрацоўкай ад электрастатычнага разраду):

Заўвага: Павярхоўнае супраціўленне ESD не пазначана ў прадстаўленых табліцах уласцівасцей матэрыялаў. Вышэйпаказаны дыяпазон з'яўляецца галіновым стандартам для дысіпатыўнай керамікі. Калі ласка, звяжыцеся з намі для атрымання справаздач аб выпрабаваннях.

Прымяненне:

● Энергетычныя канцавыя эфектары для перадачы пласцін

● Зазямляльныя кантакты і прыстасаванні для абароны ад электрастатычнага разраду ў абсталяванні FAB

● Праверце разеткі на наяўнасць прылад, адчувальных да статычнай электрычнасці

● Інструменты для чыстых памяшканняў, дзе статычны кантроль мае вырашальнае значэнне

Вытворчасць і якасць:

Стандартная апрацоўка аксіду алюмінію + апрацоўка паверхні ESD → павярхоўнае супраціўленне вымяраецца ў адпаведнасці з ANSI/ESD STM11.11. Кожная дэталь на 100% пратэставана канцэнтрычным кальцавым электродам.

Перавагі:

● Прадухіляе страту ўраджаю, звязаную з электрастатычным разрадам

● Захоўвае механічную трываласць і хімічную ўстойлівасць керамікі

● Адсутнасць утварэння часціц у выніку статычнага разраду