Высокачыстае керамічнае ўшчыльняльнае кольца з аксіду алюмінію для герметызацыі высокатэмпературных камер
Керамічнае ўшчыльняльнае кольца St.Cera распрацавана ў якасці альтэрнатывы палімерным O-вобразным кольцам у экстрэмальных умовах, дзе раскладаюцца эластамеры. Гэта жорсткае ўшчыльняльнае кольца, вырабленае з 99,8% высокачыстага аксіду алюмінію (Al₂O₃), выкарыстоўваецца ў статычных герметызацыях — звычайна ў пары з мяккай металічнай або графітавай пракладкай — для забеспячэння надзейнага вакууму або ўтрымання газу пры тэмпературах да 800°C і ў агрэсіўных плазменных або хімічных асяроддзях. Матэрыял забяспечвае нулявое газавыдзяленне, высокую трываласць на сціск (базавая трываласць на выгіб 361 МПа) і хімічную інертнасць (устойлівы да галагенаў, кіслот і шчолачаў, акрамя HF). Дакладна адшліфаваныя ўшчыльняльныя паверхні (плоскасць ≤5 мкм, шурпатасць паверхні Ra ≤0,2 мкм) забяспечваюць герметычны кантакт з адпаведнымі металічнымі або керамічнымі кампанентамі.
Тэхнічныя характарыстыкі(на аснове 99,8% Al₂O₃):
| Маёмасць | Значэнне |
| Матэрыял | 99,8% аксід алюмінію (слановая косць) |
| Шчыльнасць | 3,93 г/см³ |
| Паглынанне вады | 0% |
| Трываласць на згіб | 361 МПа |
| Трываласць на сціск (прыбл.) | >2000 МПа |
| Цвёрдасць па Вікерсу | 16 ГПа |
| Цеплавое пашырэнне (25–1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Максімальная рабочая тэмпература | 800°C (паветра), 1600°C (інертны) |
| Аздабленне паверхні (герметызацыйная паверхня) | Ra ≤0,2 мкм (прыціраны) |
| Плоскасць (на 25 мм) | ≤5 мкм |
| Хуткасць уцечкі гелія | <1×10⁻¹⁰ Па·м³/с (з адпаведнай пракладкай) |
Прымяненне:
- · Статычныя ўшчыльненні для паўправадніковых тэхналагічных камер (CVD, PVD, травленне)
- · Высокатэмпературныя ўшчыльняльнікі дзвярэй печы
- · Вакуумныя праходныя фланцы
- · Закрыццё корпусаў хімічных рэактараў
Вытворчы працэс:
Ізастатычнае прэсаванне → спяканне пры тэмпературы 1600°C → дакладная двухбаковая прыцірка для дасягнення ультраплоскіх, гладкіх ушчыльняльных паверхняў → зняцце фаскі па краях → ультрагукавая ачыстка. Кожнае кольца праходзіць 100% праверку на герметычнасць на геліевым дэтэктары ўцечак са стандартнай металічнай пракладкай.
Кантроль якасці:
- · Праверка памераў КІМ (унутраны дыяметр, знешні дыяметр, таўшчыня, паралельнасць)
- · Павярхоўны профілометр для Ra і хвалістасці
- · Вымярэнне плоскасці з дапамогай аптычнай плоскасці
- · Выпрабаванне на ўцечку гелія (метад зваротнага ціску)
Перавагі перад палімернымі ўшчыльняльнымі кольцамі:
- · Вытрымлівае 800°C супраць <300°C для FFKM
- · Нулявая дэгазацыя — адсутнасць забруджвання вакуумнага асяроддзя
- · Устойлівы да ўсіх плазмавых хімічных рэчываў (фтор, хлор, кісларод)
- · Адсутнасць дэфармацыі пры сцісканні або рэшткавай дэфармацыі
- · Неабмежаваны тэрмін службы ў чыстым асяроддзі
Абмежаванні (крытычныя заўвагі):
- · Не ўшчыльняльнае кольца— гэта цвёрдае керамічнае кольца, для герметызацыі якога патрабуецца мяккая пракладка (медная, алюмініевая або графітавая).
- · Не вытрымлівае дынамічнага руху або вялікага зрушэння фланцаў.
- · Больш высокі пачатковы кошт, чым у палімерных ушчыльняльных кольцаў, але большы тэрмін службы зніжае кошт валодання.
- · Далікатны — звяртайцеся асцярожна; пазбягайце кропкавых удараў або выгібу.
Заўвага:Прыведзеныя вышэй дадзеныя строга адпавядаюць прадстаўленай табліцы ўласцівасцей Al₂O₃. Дадзеныя для эластамерных матэрыялаў не былі прадстаўлены. Гэты прадукт з'яўляецца статычным ушчыльняльным кольцам, а не эластамерным O-вобразным кольцам. Калі ласка, пацвердзіце, ці адпавядае яно патрабаванням вашага прымянення.
