Вакуумны патрон з порыстага карбіду крэмнію з металічнай асновай для апрацоўкі дэфармаваных і тонкіх пласцін
Вакуумны патрон St.Cera на металічнай аснове з керамікі спалучае ў сабе керамічны пласт з карбіду крэмнію (SiC) з дакладна апрацаванай металічнай асновай (алюміній або нержавеючая сталь). Порысты матэрыял SiC (сіне-чорны, парыстасць 35–40%, памер пор 20–30 мкм, пранікальнасць 60 мл/см²·мін) забяспечвае раўнамернае, мяккае размеркаванне вакууму па ўсёй паверхні пласціны, ліквідуючы сляды на краях і дазваляючы бескантактава падтрымліваць тонкія (≤100 мкм) або дэфармаваныя пласціны. Пласт SiC забяспечвае нізкае цеплавое пашырэнне (3,5×10⁻⁶/℃), тэрмічную стабільнасць да 1000°C і ўмераную трываласць на выгіб (32–35 МПа). Металічная аснова дадае структурную калянасць, лёгкі мантаж праз разьбовыя адтуліны і абараняе ад далікатнага разлому. Гэты патрон ідэальна падыходзіць для шліфавання адваротнага боку, нарэзкі кубікамі і апрацоўкі пласцін пры высокай тэмпературы, дзе аднастайны вакуум і тэрмічная сумяшчальнасць маюць вырашальнае значэнне.
Тэхнічныя характарыстыкі (на аснове прадстаўленых дадзеных па порыстасці SiC):
| Маёмасць | Значэнне |
| Керамічны матэрыял | Сітаваты карбід крэмнію (SiC ≥80%) |
| Колер | Сіне-чорны |
| Парыстасць | 35–40% |
| Памер пор | 20–30 мкм |
| Шчыльнасць | 2,1–2,3 г/см³ |
| Пранікальнасць | 60 мл/см²·мін |
| Трываласць на згіб | 32–35 МПа |
| Каэфіцыент цеплавога пашырэння (25-1000°C) | 3,5×10⁻⁶/℃ |
| Максімальная рабочая тэмпература | 1000°C |
| Электрычнае супраціўленне | 10⁻¹⁰ Ω/см (паводле прадстаўленых дадзеных, тыпова для порыстага SiC) |
| Металічны асноўны матэрыял | Алюміній 6061 або нержавеючая сталь 304 (па жаданні) |
| Таўшчыня металічнай асновы | 10–30 мм (па замове) |
Заўвага: трываласць на выгіб ніжэйшая, чым у шчыльнага карбіду крэмнію з-за парыстасці. Уласцівасці металічнай асновы не атрыманы з керамічных табліц.
Прымяненне:
- · Шліфаванне тонкіх пласцін (≤100 мкм) з адваротнага боку
- · Дэфармаванае мацаванне пласціны для нарэзкі кубікамі
- · Высокатэмпературнае зацісканне пласцін (да 1000°C)
- · Вакуумнае мацаванне для сітаватых або далікатных паверхняў
Вытворчасць:
Сітаватая пласціна з карбіду крэмнію (сфарміраваная з дапамогай пораўтваральнікаў, спечаная) → прыцірка да плоскасці ≤10 мкм → металічная аснова, апрацаваная з вакуумнымі портамі і мантажнымі элементамі → эпаксідная смалой або механічнае зацісканне → праверка на герметычнасць гелія.
Кантроль якасці:
- · Сітаватасць і памер пор правераны з дапамогай SEM
- · Выпрабаванне на пранікальнасць (паветрапранікальнасць)
- · Плоскаснасць вымяраецца лазерным інтэрферометрам
- · Хуткасць уцечкі гелія <1×10⁻⁹ Па·м³/с
Перавагі перад патронамі з канаўкамі або шчыльнай керамікай:
- · Няма маркіроўкі пласціны — раўнамерны вакуум без асобных адтулін
- · Самаачышчальныя пары — памяншэнне закаркавання
- · Апрацоўвае дэфармаваныя пласціны (выгіб да 500 мкм)
- · Металічная аснова прадухіляе далікатнае разбурэнне і спрашчае інтэграцыю
Абмежаванні:
- · Ніжняя трываласць на выгіб (32–35 МПа) – пазбягайце ўдарных нагрузак
- · Працоўная тэмпература абмежаваная 1000°C (сітаваты SiC), але эпаксідная сувязь на металічнай аснове ≤200°C, калі не замацавана механічна
- · Не для высокаціскавага вакууму (сітаватая структура абмяжоўвае максімальны перапад вакууму)
Налада:
- · Металічная аснова: алюміній (лёгкі), нержавеючая сталь (устойлівая да карозіі), інвар (нізкае пашырэнне)
- · Злучэнне: эпаксідная смала (≤200°C) або механічны заціск (да 500°C)
- · Ушчыльняльнае кольца па краях для кантролю зоны вакууму
Звярніце ўвагу: трываласць на выгіб (32–35 МПа) значна ніжэйшая, чым у шчыльнай керамікі, з-за сітаватасці. Будзьце асцярожныя, каб пазбегнуць сколаў па краях.
