Высокачысты керамічны канцавы эфектар з аксіду алюмінію для робатаў для апрацоўкі пласцін

Алюмінакерамічны канцавы эфектар St.Cera выраблены з высокачыстага Al₂O₃ (99,8%) з выкарыстаннем перадавога 5-восевага шліфавальнага абсталявання з ЧПУ. Нашы вытворчыя магутнасці ўключаюць высокадакладныя шліфавальныя станкі і апрацоўчыя цэнтры з ЧПУ, што дазваляе апрацоўваць складаныя геаметрычныя элементы з высокай дакладнасцю. Канцавы эфектар мае тонкі профіль (таўшчынёй да 1,5 мм) з канічнай пярэдняй абзой для плаўнай устаўкі пласціны. Матэрыял забяспечвае высокую калянасць (модуль Юнга 380 ГПа), выдатную зносаўстойлівасць і тэрмічную стабільнасць да 800°C. Кожны блок дакладна шліфуецца для дасягнення плоскасці 0,003 мм, паралельнасці 0,002 мм і паверхні Ra0,1, што забяспечвае стабільны кантакт з пласцінай і працу без часціц у паўправадніковых FAB-асяроддзях. Даступны ў даўжыні ад 150 мм да 450 мм, з нестандартнай геаметрыяй наканечнікаў (захоп краю, Бернулі, плоскі) і мантажнымі фланцамі для ўстаноўкі з OEM-робатамі. Варыянты аздаблення паверхні ўключаюць прыцісканне, паліроўку або пакрыццё, якое рассейвае электрастатычны разрад (10⁶–10⁹ Ω/кв.м).

Тэхнічныя характарыстыкі (на аснове 99,8% Al₂O₃& вытворчыя магутнасці St.Cera):

Прымяненне:

• · Перанос пласцін у вакуумных і атмасферных робатах
• · Канцавыя эфектары FAB для аўтаматызацыі пласцін 200 мм/300 мм
• · Апрацоўка тонкіх пласцін (з опцыяй ESD)

Вытворчыя магчымасці:
Нашы дакладныя шліфавальныя станкі і апрацоўчыя цэнтры з ЧПУ дазваляюць вырабляць складаныя керамічныя кампаненты з:

• · Максімальная даўжыня апрацоўкі: 1500 мм
• · Максімальны вонкавы дыяметр: 600 мм
• · Мінімальны ўнутраны дыяметр: 0,2 мм
• · Максімальная таўшчыня: 100 мм

Кантроль якасці:
Прамалінейнасць 0,005 мм, перпендыкулярнасць 0,005 мм, кругласць 0,002 мм, паралельнасць 0,002 мм, канцэнтрычнасць 0,01 мм правераны з дапамогай КІМ. Кожны блок праходзіць ультрагукавую ачыстку і ўпакоўваецца ў чыстым памяшканні класа 100.