Высокачыстая керамічная рука робата з аксіду алюмінію для апрацоўкі пласцін
Алюмінакерамічная рабатызаваная рука St.Cera выраблена з высокадакладных матэрыялаў з высокачыстага Al₂O₃ (аксіду алюмінію) на 99,8%. Яна спалучае ў сабе выключную трываласць на выгіб (361 МПа), высокую цвёрдасць (16 ГПа) і нізкую шчыльнасць (3,93 г/см³), што дазваляе атрымаць лёгкую, але жорсткую руку для пераносу паўправадніковых пласцін. Каэфіцыент цеплавога пашырэння матэрыялу (7,2×10⁻⁶/°C) вельмі блізкі да крэмнію, што мінімізуе цеплавую разыходжанне падчас апрацоўкі.
Тэхнічныя характарыстыкі (на аснове 99,8% Al₂O₃):
| Маёмасць | Значэнне |
| Колер | Слановая косць |
| Шчыльнасць | 3,93 г/см³ |
| Трываласць на згіб | 361 МПа |
| Цвёрдасць па Вікерсу | 16 ГПа |
| Модуль Юнга | 380 ГПа |
| Цеплаправоднасць | 32 Вт/м·к |
| Цеплавое пашырэнне | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Электрычная трываласць | 15×10⁶ В/м |
Прымяненне:
- Робаты для вакуумнай перадачы пласцін (200 мм/300 мм)
- Сістэмы апрацоўкі атмасферных умоў
- Канцавыя эфектарныя рычагі для аўтаматызацыі FAB
Вытворчы працэс:
Ізастатычнае прэсаванне → зялёная апрацоўка → спяканне пры 1600°C → дакладнае шліфаванне на станку з ЧПУ → ультрагукавая ачыстка → упакоўка для чыстых памяшканняў класа 100. Кожны маніпулятар праходзіць 100% кантроль плоскасці (±0,01 мм) і шурпатасці паверхні (Ra ≤0,4 мкм) з дапамогай КІМ.
Кантроль якасці:
St.Cera мае сертыфікат ISO 9001:2015. Мы праводзім выпрабаванні на наяўнасць мікратрэшчынаў метадам пранікнення фарбавальніка, выпрабаванні на трываласць пры згінанні метадам трохкропкавага выгібу і выпрабаванні на дыэлектрычную трываласць у адпаведнасці з ASTM D149.
Перавагі перад металічнымі рукамі:
- На 50% лягчэй за нержавеючую сталь
- Няма гальванічнай карозіі
- Меншая колькасць часціц (≤0,05 часціц/см²)
- Даступнае пакрыццё, бяспечнае для электрастатычнага разраду (10⁶–10⁹ Ом/кв.м)
Налада:
Даўжыня ад 150 мм да 450 мм, формы наканечнікаў (захоп краю, Бернулі, вакуум) і схемы мацавання фланцаў згодна з чарцяжамі вытворцы арыгінальнага абсталявання. Прататыпы праз 2 тыдні.
Для аптовых заказаў, калі ласка, запытайце прапанову.














