Керамічны канцавы эфектар Бернулі — бескантактавае апрацоўванне тонкіх і далікатных пласцін

Керамічны канцавы эфектар St.Cera Bernoulli выкарыстоўвае аэрадынамічную пад'ёмную сілу для апрацоўкі пласцін без фізічнага кантакту. Выраблены з высакаякаснага аксіду алюмінію (Al₂O₃) або карбіду крэмнію (SiC) з чысцінёй 99,8%, ён мае дакладна апрацаваныя сопла, якія выкідваюць сціснуты газ для стварэння тонкай паветранай плёнкі паміж канцавым эфектарам і пласцінай. Гэты прынцып бескантактавай апрацоўкі выключае забруджванне адваротнага боку, сколы па краях і пашкоджанні паверхні, што робіць яго ідэальным для тонкіх (≤100 мкм), далікатных або дэфармаваных пласцін. Керамічная падкладка забяспечвае высокую трываласць на выгіб (361 МПа для Al₂O₃; да 550–600 МПа для SiC), нізкую масу і выдатную стабільнасць памераў, што забяспечвае паўтаральнае пазіцыянаванне ў высакахуткасных робатах для перадачы пласцін.

Заўвага адносна матэрыялаў:Аксід алюмінію (Al₂O₃) з'яўляецца найбольш шырока выкарыстоўваным матэрыялам для керамічных канцавых эфектаў у апрацоўцы паўправадніковых пласцін дзякуючы выдатнаму спалучэнню цвёрдасці, электрычнай ізаляцыі, хімічнай стабільнасці і эканамічнай эфектыўнасці. Карбід крэмнію (SiC) забяспечвае больш высокую цеплаправоднасць, больш высокую цвёрдасць і яшчэ лепшую зносаўстойлівасць для самых патрабавальных ужыванняў. Хоць стабілізаваны аксід ітрыю цырконій (ZrO₂) забяспечвае высокую глейкасць разрушэння пры пакаёвай тэмпературы, ён радзей выкарыстоўваецца ў гэтай галіне з-за больш высокай шчыльнасці і розных характарыстык цеплавога пашырэння; яго можна разглядаць для канкрэтных сцэнарыяў, дзе патрабуецца выключная глейкасць разрушэння. Калі ласка, звярніцеся да нашай тэхнічнай каманды для атрымання рэкамендацый па выбары матэрыялу.

Тэхнічныя характарыстыкі(на аснове 99,8% Al₂O₃):

Прынцып працы:

Сціснутае паветра або азот (0,2–0,6 МПа) падаецца праз унутраныя каналы і выходзіць праз дакладныя сопла. Паскораны паветраны паток стварае зону нізкага ціску над канцавым эфектарам (эфект Бернулі), ствараючы пад'ёмную сілу, якая падтрымлівае пласціну з зазорам 50–200 мкм. Ніякія вакуумныя адтуліны або пляцоўкі не датыкаюцца з адваротным бокам пласціны.

Прымяненне:

• · Апрацоўка тонкай пласціны (≤50 мкм) пасля шліфоўкі адваротнага боку
• · Транспарт дэфармаваных пласцін (напрыклад, пасля хімічнага осаду пластыка або адпалу)
• · Перанос сапфіравай падкладкі на сонечныя элементы і святлодыёды
• · Аўтаматызацыя чыстых памяшканняў, якая не патрабуе ўтварэння часціц
• · Апрацоўка шкляных панэляў пры вытворчасці дысплеяў

Вытворчы працэс:

Керамічная падкладка, спечаная з высокачыстага парашка → 5-восевая апрацоўка газавых каналаў і адтулін для соплаў на станках з ЧПУ (дыяметр 0,3–1,0 мм, дапушчальнае адхіленне ±0,01 мм) → прыцірка паверхні да Ra ≤0,4 мкм → ультрагукавая ачыстка → праверка на ўцечку гелія (газавыя каналы). Пакрыццё не патрабуецца — голая керамічная паверхня хімічна інертная і не забруджвае.

Кантроль якасці:

• · 100% кантроль памераў (КІМ) становішча соплаў, даўжыні кансолі і плоскасці
• · Выпрабаванне раўнамернасці паветранага патоку: падзенне ціску ≤5% на ўсіх фарсунках
• · Выпрабаванне на герметычнасць: газавыя каналы герметычныя пры ціску 0,6 МПа, без падзення ціску на працягу 30 секунд
• · Візуальны агляд пад 20-кратным мікраскопам на наяўнасць мікратрэшчынаў або задзірын

Aперавагі ў параўнанні з традыцыйнымі кантактнымі канцавымі эфектарамі:

• · Нулявае забруджванне адваротнага боку пласціны — адсутнасць механічнага кантакту
• · Няма сколаў па краях або паломак тонкіх пласцін
• · Апрацоўвае дэфармаваныя пласціны (выгіб да 1 мм) са стабільным зазорам
• · Выключае неабходнасць абслугоўвання вакуумнага генератара і парыстага патрона
• · Керамічная канструкцыя ўстойлівая да зносу і хімічнага ўздзеяння

Налада:

• · Даступныя памеры пласцін 200 мм, 300 мм або нестандартныя
• · Схема размяшчэння газавых соплаў: прамая, вуглавая або віхравая
• · Матэрыялы: аксід алюмінію (стандарт) або карбід крэмнію (для найвышэйшай цеплаправоднасці і зносаўстойлівасці)
• · Даўжыня рычага, мантажны фланец і размяшчэнне газавага порта згодна з чарцяжом вытворцы арыгінальнага абсталявання

Абмежаванні:

Рэалізацыя прынцыпу Бернулі (канструкцыя сопла, паветраны зазор) выходзіць за рамкі прадстаўленых табліц уласцівасцей матэрыялаў. Механічныя і цеплавыя ўласцівасці, прыведзеныя вышэй, строга адпавядаюць прадстаўленым спецыфікацыям для 99,8% Al₂O₃. З-за гэтых уласцівасцей матэрыялу не чакаецца пагаршэння прадукцыйнасці керамікі пад ціскам патоку газу. Для пласцін, адчувальных да патоку газу (напрыклад, МЭМС з далікатнымі структурамі), ціск газу і канструкцыю сопла неабходна адпаведна скарэктаваць.