Вакуумны канцавы эфектар ST.CERA з аксіду алюмінію і керамікі
Кароткае апісанне:
Гэта керамічны канцавы эфектар/маніпулятар латкавага тыпу, які выкарыстоўваецца ва ўмовах вакууму.
Керамічны канцавы эфектар/маніпулятар «больш цеплаўстойлівы», «менш адхіляецца» і «лягчэйшы» па вазе ў параўнанні з металічнымі.
Дзякуючы высокай тэрмаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, устойлівасці да ізаляцыі, кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.