Высокачыстае кольца факусоўкі з аксіду алюмінію для сістэм плазменнага травлення і CVD
Факусавальнае кольца камеры St.Cera з'яўляецца найважнейшым кампанентам тэхналагічнага набору, які выкарыстоўваецца ў абсталяванні для плазменнага травлення, CVD і PVD паўправадніковых працэсаў. Вырабленае з 99,8% высокачыстага аксіду алюмінію (Al₂O₃), кольца акружае край пласціны, каб утрымліваць плазму і аптымізаваць вуглавое размеркаванне іонаў, тым самым паляпшаючы аднастайнасць травлення па ўсёй паверхні пласціны. Матэрыял валодае выключнай плазмаўстойлівасцю, высокай дыэлектрычнай трываласцю (15×10⁶ В/м) і тэрмічнай стабільнасцю да 1600°C, што забяспечвае доўгатэрміновую надзейнасць у агрэсіўных плазменных асяроддзях на аснове фтору або хлору. Дакладна адшліфаваны ўнутраны/знешні дыяметр і плоскаснасць (≤10 мкм) дазваляюць дакладна пазіцыянаваць край пласціны, памяншаючы дэфекты краёў і ўтварэнне часціц.
Тэхнічныя характарыстыкі(на аснове 99,8% Al₂O₃):
| Маёмасць | Значэнне |
| Матэрыял | 99,8% аксід алюмінію (слановая косць) |
| Шчыльнасць | 3,93 г/см³ |
| Паглынанне вады | 0% |
| Трываласць на згіб | 361 МПа |
| Вязкасць разрушэння | 3–4 МПа·м¹/² |
| Цвёрдасць па Вікерсу | 16 ГПа |
| Модуль Юнга | 380 ГПа |
| Цеплаправоднасць | 32 Вт/м·к |
| Цеплавое пашырэнне (25–1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Электрычная трываласць | 15×10⁶ В/м |
| Удзельнае супраціўленне | >10¹⁴ Ом·см |
| Максімальная рабочая тэмпература | 1600°C |
Прымяненне:
- · Фокусуючыя кольцы дыэлектрычнай камеры травлення (аксіднае, нітрыднае травленне)
- · Краёвыя кольцы камеры для травлення з крэмнію
- · Кальцавыя камплекты для апрацоўкі камеры CVD
- · Экран камеры і заціскныя кольцы з PVD
Вытворчы працэс:
Высокачысты парашок аксіду алюмінію ізастатычна прэсуецца → апрацоўваецца да формы, блізкай да чыстай → спякаецца пры тэмпературы 1600°C → шліфаванне ўнутраным і знешнім дыяметрамі, а таксама таўшчынёй на станках з ЧПУ алмазным спосабам → прыцірка для дасягнення плоскаснасці ≤10 мкм → ультрагукавая ачыстка → 100% кантроль CMM. Аздабленне паверхні Ra ≤0,4 мкм мінімізуе адгезію часціц.
Кантроль якасці:
- · 100% кантроль памераў (унутраны дыяметр, знешні дыяметр, таўшчыня, паралельнасць)
- · Выпрабаванне на наяўнасць мікратрэшчынаў з дапамогай фарбавальніка (трэшчыны не дапускаюцца)
- · Візуальны агляд пад мікраскопам 20× — адсутнасць сколаў, пустэч або змяненняў колеру
- · Выпрабаванне на электрычную трываласць паводле ASTM D149 (адбор проб)
Перавагі перад сіліконавымі або кварцавымі факусуючымі кольцамі:
- · У 5–10 разоў большы тэрмін службы ў фторвугляроднай плазме
- · Няма расходных часціц эрозіі, якія могуць забруджваць пласціны
- · Павышаная дыэлектрычная трываласць прадухіляе дугавыя іскры
- · Захоўвае плоскасць і дакладнасць памераў на працягу тысяч гадзін радыёчастотнага выпраменьвання
Альтэрнатыўны матэрыял — стабілізаваны ітрыем цырконій (ZrO₂):
Для прымянення, якія патрабуюць больш высокай глейкасці разрушэння (напрыклад, камеры з частымі тэрмічнымі цыкламі або механічнымі ўдарамі), даступныя фокусуючыя кольцы з ZrO₂ (шчыльнасць 6,03 г/см³, трываласць на выгіб 1000 МПа, глейкасць разрушэння 5–8 МПа·м¹/²). Аднак аксід алюмінію прапануе лепшую эканамічную эфектыўнасць і з'яўляецца галіновым стандартам для большасці прымяненняў фокусуючых кольцаў.
Налада:
- · Ступенчатыя профілі, раззенкаваныя адтуліны або мантажныя адтуліны паводле чарцяжа заказчыка
- · Пакрыццё Y₂O₃ для павышэння ўстойлівасці да плазменнай эрозіі (таўшчыня 20–100 мкм)
- · Лазерная маркіроўка нумара дэталі, кода даты або пазнак выраўноўвання
Заўвага:Усе дадзеныя строга адпавядаюць прадстаўленай табліцы ўласцівасцей Al₂O₃. Спецыфікацыі ZrO₂ глядзіце ў прадстаўленым тэхнічным апісанні цырконія. Канструкцыі фокусных кольцаў могуць запатрабаваць атрымання патэнтнага дазволу — кліенты нясуць адказнасць за праверку правоў інтэлектуальнай уласнасці.
