-
Высокачыстая керамічная рука робата з аксіду алюмінію для апрацоўкі пласцін
Алюмінакерамічная рабатызаваная рука St.Cera выраблена з высокадакладных матэрыялаў з высокачыстага Al₂O₃ (аксіду алюмінію) на 99,8%. Яна спалучае ў сабе выключную трываласць на выгіб (361 МПа), высокую цвёрдасць (16 ГПа) і нізкую шчыльнасць (3,93 г/см³), што дазваляе атрымаць лёгкую, але жорсткую руку для пераносу паўправадніковых пласцін. Каэфіцыент цеплавога пашырэння матэрыялу (7,2×10⁻⁶/°C) вельмі блізкі да крэмнію, што мінімізуе цеплавую разыходжанне падчас апрацоўкі.
-
Керамічны канцавы эфектар Бернулі — бескантактавае апрацоўванне тонкіх і далікатных пласцін
Керамічны канцавы эфектар St.Cera Bernoulli выкарыстоўвае аэрадынамічную пад'ёмную сілу для апрацоўкі пласцін без фізічнага кантакту. Выраблены з высакаякаснага аксіду алюмінію (Al₂O₃) або карбіду крэмнію (SiC) з чысцінёй 99,8%, ён мае дакладна апрацаваныя сопла, якія выкідваюць сціснуты газ для стварэння тонкай паветранай плёнкі паміж канцавым эфектарам і пласцінай. Гэты прынцып бескантактавай апрацоўкі выключае забруджванне адваротнага боку, сколы па краях і пашкоджанні паверхні, што робіць яго ідэальным для тонкіх (≤100 мкм), далікатных або дэфармаваных пласцін. Керамічная падкладка забяспечвае высокую трываласць на выгіб (361 МПа для Al₂O₃; да 550–600 МПа для SiC), нізкую масу і выдатную стабільнасць памераў, што забяспечвае паўтаральнае пазіцыянаванне ў высакахуткасных робатах для перадачы пласцін.
-
Керамічны канцавы эфектар з тэфлонавым пакрыццём — антіпрыгарная паверхня для адчувальнай апрацоўкі пласцін
Керамічны канцавы эфектар St.Cera з тэфлонавым (PTFE) пакрыццём спалучае ў сабе высокатрывалую алюмініевую падкладку з аднастайным PTFE-пакрыццём з нізкім каэфіцыентам трэння (таўшчыня 15–30 мкм). Пакрыццё забяспечвае надзвычай нізкі каэфіцыент трэння (≤0,1), выдатную хімічную ўстойлівасць і антіпрыгарныя ўласцівасці, прадухіляючы счапленне пласцін і ліквідуючы забруджванне адваротнага боку. Асноўная керамічная падкладка (99,8% Al₂O₃) забяспечвае высокую трываласць на выгіб (361–1000 МПа), зносаўстойлівасць і тэрмічную стабільнасць да 260°C (мяжа пакрыцця). Гэты канцавы эфектар ідэальна падыходзіць для апрацоўкі далікатных, тонкіх або ліпкіх пласцін (напрыклад, пасля нанясення фотарэзістнага пакрыцця або хімічных працэсаў).
