-
Высокадакладныя керамічныя кольцы з аксіду алюмінію, керамічныя дэталі
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
Керамічныя патроны ST.CERA для паўправадніковага абсталявання на заказ
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
Керамічны канцавы эфектар з карбіду крэмнію (SiC) — высокая калянасць для апрацоўкі высокатэмпературных пласцін
Керамічны канцавы эфектар St.Cera з карбіду крэмнію SiC выраблены з высакаякаснага карбіду крэмнію (утрыманне SiC 99,72%, свабодны Si 0,05%) з выкарыстаннем матэрыялу S1111. Ён валодае выключнымі механічнымі ўласцівасцямі: трываласць на выгіб 449 МПа (вымярана), модуль пругкасці 457 ГПа (вымярана) і цвёрдасць па Вікерсу 25–28 ГПа (тыповая). Нізкая шчыльнасць (3,10–3,15 г/см³, тыповая) забяспечвае высокую ўдзельную калянасць, ідэальную для высакахуткасных робатаў для пераносу пласцін. З цеплаправоднасцю 120–150 Вт/м·K (тыповая) і каэфіцыентам цеплавога пашырэння 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (тыповая), гэты канцавы эфект эфектыўна рассейвае цяпло і падтрымлівае стабільнасць памераў пры апрацоўцы пры высокіх тэмпературах (да 1600–1700°C, без нагрузкі). Чорна-шэры колер і нулявое водапаглынанне забяспечваюць сумяшчальнасць з чыстымі памяшканнямі.
-
Вакуумны патрон на аснове карбіду крэмнію (SiC) для высокатэмпературных і плазменных асяроддзяў
Керамічны патрон St.Cera на аснове карбіду крэмнію выраблены з высакаякаснага карбіду крэмнію (партыя S1111, SiC 99,72%, свабодны Si 0,05%). Ён мае вымераную трываласць на выгіб 449 МПа, глейкасць на разлом 3,12 МПа·м¹/² і модуль пругкасці 457 ГПа. Тыповая цеплаправоднасць матэрыялу (120–150 Вт/м·К) і нізкае цеплавое пашырэнне (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) дазваляюць хутка награваць і мінімальна дэфармаваць пласціны падчас тэрмічнага цыклавання. Патрон можа быць выкананы ў выглядзе порыстага вакуумнага патрона (раўнамерны паток газу) або стандартнага патрона з канаўкамі. З максімальнай тэмпературай выкарыстання 1600–1700°C (без нагрузкі) і выключнай устойлівасцю да плазменнай эрозіі, гэты патрон ідэальна падыходзіць для высокатэмпературнай апрацоўкі пласцін (адпал, RTP) і камер агрэсіўнага травлення, дзе патроны з аксіду алюмінію дэградуюць.
-
Паўправадніковае абсталяванне Керамічныя запасныя часткі Керамічныя носьбіты
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
Шліфавальнае кольца з керамікі з аксіду алюмінію на металічнай аснове для высокатрывалай прыціркі
Шліфавальнае кольца St.Cera на аснове металу з аксіду алюмінію спалучае ў сабе керамічны зносаўстойлівы пласт з высакаякаснага аксіду алюмінію (99,8% Al₂O₃) з дакладна апрацаванай металічнай асновай (звычайна з алюмінію або нержавеючай сталі). Гэтая гібрыдная канструкцыя забяспечвае выключную зносаўстойлівасць і хімічную інертнасць керамікі на шліфавальнай паверхні, у той час як металічная аснова дадае механічную трываласць, лёгкі мантаж і ўстойлівасць да далікатнага разбурэння. Пласт аксіду алюмінію забяспечвае трываласць на выгіб 361 МПа, цвёрдасць па Вікерсу 16 ГПа і тэрмічную стабільнасць да 800°C. Металічная аснова можа быць абсталявана мантажнымі адтулінамі, фіксуючымі штыфтамі або магнітнымі ўласцівасцямі для інтэграцыі ў прыцірныя станкі, планетарныя шліфавальныя станкі і абсталяванне для плоскаснага вырабу.
-
Керамічныя запасныя часткі для абсталявання паўправадніковых зондавых станцый
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
Індывідуальная апрацоўка керамічнага патрона для пласцін Al2O3
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
ST.CERA Керамічная пласціна для паўправадніковага абсталявання на заказ
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
12-цалевы вакуумны патрон з аксіду алюмінію для апрацоўкі 300-міліметровых пласцін
12-цалевы вакуумны патрон St.Cera выраблены з дакладнасцю з 99,8% высакаякаснага аксіду алюмінію (Al₂O₃) для апрацоўкі пласцін дыяметрам 300 мм. Патрон мае дробна рыфленую паверхню (шырыня канаўкі 0,5–1,0 мм, крок канаўкі 2–3 мм), што забяспечвае раўнамернае размеркаванне вакууму па ўсім дыяметры 300 мм. Плоскаснасць падтрымліваецца ў межах 5 мкм, што дазваляе фіксаваць пласціны без дэфармацыі падчас нарэзкі, шліфоўкі адваротнага боку і кантролю. Высокая трываласць матэрыялу на выгіб (361 МПа) і цвёрдасць (16 ГПа) гарантуюць доўгатэрміновую стабільнасць памераў нават пры паўторных цыклах вакуумавання.
-
Алюмініевы керамічны канцавы эфектар з інтэграванымі вакуумнымі каналамі
Вакуумны канцавы эфектар St.Cera з аксіду алюмінію інтэгруе дакладна апрацаваныя вакуумныя каналы і ўсмоктвальныя адтуліны непасрэдна ў корпус з высокачыстага аксіду алюмінію 99,8%. Гэтая канструкцыя выключае знешнія вакуумныя пляцоўкі, што дазваляе непасрэдна захопліваць пласціны з раўнамернай сілай утрымання. Высокая трываласць матэрыялу на выгіб (361 МПа) і цвёрдасць (16 ГПа) забяспечваюць доўгатэрміновую стабільнасць памераў пры паўторных цыклах вакуумавання. Плоскасць па ўсёй плошчы пляцоўкі падтрымліваецца ў межах 10 мкм, што прадухіляе напружанне і паломку пласціны. Вакуумныя адтуліны размешчаны на заднім мантажным фланцы для лёгкай інтэграцыі з OEM-робатамі-маніпулятарамі.
-
Алюмінава-керамічныя дэталі, бяспечныя ад статычнай электрычнасці, для апрацоўкі статычна адчувальных пласцін
Керамічныя дэталі St.Cera з аксіду алюмінію, бяспечныя да статычнага разраду (ESD), вырабляюцца з высакаякаснага Al₂O₃ з утрыманнем 99,8% чысціні і маюць павярхоўнае супраціўленне 10⁶–10⁹ Ом/кв. см, якое дасягаецца з дапамогай запатэнтаванага працэсу легіравання або пакрыцця. Гэтыя дэталі эфектыўна рассейваюць статычны зарад, прадухіляючы электрастатычнае пашкоджанне адчувальных паўправадніковых пласцін і прылад. Асноўны матэрыял захоўвае высокую трываласць на выгіб (361 МПа), цвёрдасць (16 ГПа) і дыэлектрычную трываласць (15×10⁶ В/м). Да керамічных дэталяў, бяспечных да статычнага разраду, адносяцца канцавыя эфектары, пад'ёмныя штыфты, накіроўвалыя рэйкі і спецыяльныя прыстасаванні для аўтаматызацыі FAB.
