-
Керамічныя запасныя часткі для паўправадніковага зондавага абсталявання
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
Керамічная пласціна паўправадніковага абсталявання
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
Керамічныя запасныя часткі для паўправадніковага абсталявання
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
Высокачыстае керамічнае ўшчыльняльнае кольца з аксіду алюмінію для герметызацыі высокатэмпературных камер
Керамічнае ўшчыльняльнае кольца St.Cera распрацавана ў якасці альтэрнатывы палімерным O-вобразным кольцам у экстрэмальных умовах, дзе раскладаюцца эластамеры. Гэта жорсткае ўшчыльняльнае кольца, вырабленае з 99,8% высокачыстага аксіду алюмінію (Al₂O₃), выкарыстоўваецца ў статычных герметызацыях — звычайна ў пары з мяккай металічнай або графітавай пракладкай — для забеспячэння надзейнага вакууму або ўтрымання газу пры тэмпературах да 800°C і ў агрэсіўных плазменных або хімічных асяроддзях. Матэрыял забяспечвае нулявое газавыдзяленне, высокую трываласць на сціск (базавая трываласць на выгіб 361 МПа) і хімічную інертнасць (устойлівы да галагенаў, кіслот і шчолачаў, акрамя HF). Дакладна адшліфаваныя ўшчыльняльныя паверхні (плоскасць ≤5 мкм, шурпатасць паверхні Ra ≤0,2 мкм) забяспечваюць герметычны кантакт з адпаведнымі металічнымі або керамічнымі кампанентамі.
-
Высокачыстае кольца факусоўкі з аксіду алюмінію для сістэм плазменнага травлення і CVD
Факусавальнае кольца камеры St.Cera з'яўляецца найважнейшым кампанентам тэхналагічнага набору, які выкарыстоўваецца ў абсталяванні для плазменнага травлення, CVD і PVD паўправадніковых працэсаў. Вырабленае з 99,8% высокачыстага аксіду алюмінію (Al₂O₃), кольца акружае край пласціны, каб утрымліваць плазму і аптымізаваць вуглавое размеркаванне іонаў, тым самым паляпшаючы аднастайнасць травлення па ўсёй паверхні пласціны. Матэрыял валодае выключнай плазмаўстойлівасцю, высокай дыэлектрычнай трываласцю (15×10⁶ В/м) і тэрмічнай стабільнасцю да 1600°C, што забяспечвае доўгатэрміновую надзейнасць у агрэсіўных плазменных асяроддзях на аснове фтору або хлору. Дакладна адшліфаваны ўнутраны/знешні дыяметр і плоскаснасць (≤10 мкм) дазваляюць дакладна пазіцыянаваць край пласціны, памяншаючы дэфекты краёў і ўтварэнне часціц.
-
Керамічнае кольца з высокачыстага аксіду алюмінію для працэсных камер CVD / PVD
Керамічнае кольца St.Cera спецыяльна распрацавана для выкарыстання ў працэсных камерах CVD (хімічнае асаджэнне з паравой фазы) і PVD (фізічнае асаджэнне з паравой фазы). Вырабленае з 99,8% высокачыстага аксіду алюмінію (Al₂O₃), гэта кольца служыць укладышам камеры, факусуючым кольцам або кампанентам працэснага камплекта для ўтрымання плазмы і абароны сценак камеры ад эрозіі. Матэрыял валодае выдатнай плазмаўстойлівасцю, высокай дыэлектрычнай трываласцю (15×10⁶ В/м) і тэрмічнай стабільнасцю да 1600°C, што забяспечвае працяглы тэрмін службы ў агрэсіўных плазменных асяроддзях на аснове фтору. Дакладныя памерныя допускі (±0,05 мм па ўнутраным/вонкавым дыяметры) і плоскаснасці (≤10 мкм) дазваляюць забяспечыць паслядоўнае пазіцыянаванне краёў пласціны, паляпшаючы аднастайнасць асаджэння і памяншаючы ўтварэнне часціц.
-
Керамічны канцавы эфектар Бернулі — бескантактавае апрацоўванне тонкіх і далікатных пласцін
Керамічны канцавы эфектар St.Cera Bernoulli выкарыстоўвае аэрадынамічную пад'ёмную сілу для апрацоўкі пласцін без фізічнага кантакту. Выраблены з высакаякаснага аксіду алюмінію (Al₂O₃) або карбіду крэмнію (SiC) з чысцінёй 99,8%, ён мае дакладна апрацаваныя сопла, якія выкідваюць сціснуты газ для стварэння тонкай паветранай плёнкі паміж канцавым эфектарам і пласцінай. Гэты прынцып бескантактавай апрацоўкі выключае забруджванне адваротнага боку, сколы па краях і пашкоджанні паверхні, што робіць яго ідэальным для тонкіх (≤100 мкм), далікатных або дэфармаваных пласцін. Керамічная падкладка забяспечвае высокую трываласць на выгіб (361 МПа для Al₂O₃; да 550–600 МПа для SiC), нізкую масу і выдатную стабільнасць памераў, што забяспечвае паўтаральнае пазіцыянаванне ў высакахуткасных робатах для перадачы пласцін.
-
Высокачыстыя керамічныя дэталі з аксіду алюмінію для паўправадніковых і прамысловых прымяненняў
Кампанія St.Cera вырабляе дакладна апрацаваныя керамічныя дэталі з аксіду алюмінію (Al₂O₃) у адпаведнасці са спецыфікацыямі кліентаў. Выкарыстоўваючы 99,8% аксіду алюмінію высокай чысціні, гэтыя кампаненты забяспечваюць выдатную трываласць на выгіб (361 МПа), высокую цвёрдасць (16 ГПа) і выдатную дыэлектрычную трываласць (15×10⁶ В/м). Распрацаваны для паўправадніковага абсталявання, зносаўстойлівых вузлоў, электрычных ізалятараў і высокатэмпературных прыстасаванняў, матэрыял мае амаль нулявое водапаглынанне (0%) і каэфіцыент цеплавога пашырэння 7,2×10⁻⁶/℃, што забяспечвае стабільнасць памераў у экстрэмальных умовах.
-
Порысты керамічны вакуумны патрон для апрацоўкі дэфармаваных пласцін
Керамічны патрон St.Cera з порыстай паверхні выраблены з высакаякаснага аксіду алюмінію з аднастайнай адкрытай порыстасцю 30–45% і памерамі пор ад 10 да 100 мкм. У адрозненне ад звычайных патронаў з канаўкамі, порыстая паверхня забяспечвае размеркаваны вакуум па ўсёй адваротнай паверхні пласціны, эфектыўна ўтрымліваючы дэфармаваныя, тонкія або адзінкавыя пласціны без адрыву або паломкі краёў. Мяккі вакуум (рэгулюецца з дапамогай абмежавальніка) таксама прадухіляе з'яўленне слядоў на адваротным баку.
-
Вакуумны патрон з порыстай керамікі на аснове аксіду алюмінію для апрацоўкі тонкіх пласцін
Патрон St.Cera на аснове аксіду алюмінію выраблены з высокачыстага Al₂O₃ (99,6%) з кантраляванай адкрытай парыстасцю 30–45% і аднастайным памерам пор ад 10 да 50 мкм. У адрозненне ад паторыстых патронаў, парыстая паверхня забяспечвае размеркаваны вакуум па ўсёй адваротнай паверхні пласціны, што ліквідуе сляды на краях і дазваляе акуратна ўтрымліваць ультратонкія (≤100 мкм) або дэфармаваныя пласціны. Матэрыял мае трываласць на выгіб ≥250 МПа і тэрмаўстойлівасць да 400°C на паветры.
-
Газаразмеркавальная пласціна з аксіду алюмінію для душавой галоўкі з CVD/PVD-метадам
Газаразмеркавальная пласціна (душавая галоўка) St.Cera выраблена з высокачыстай керамікі з аксіду алюмінію 99,8%. Яна мае мноства мікраадтулін (дыяметрам 0,3–1,5 мм), якія забяспечваюць раўнамерны паток газу па паверхні пласціны падчас працэсаў CVD, PVD або ALD. Высокая дыэлектрычная трываласць пласціны (>15×10⁶ В/м) і плазменная ўстойлівасць робяць яе неабходнай для нанясення тонкіх плёнак паўправаднікоў.
-
Керамічны апорны штыфт для паўправадніковых прыстасаванняў
Керамічныя апорныя штыфты St.Cera (таксама вядомыя як пад'ёмныя штыфты або апорныя штыфты) выкарыстоўваюцца ў паўправадніковых тэхналагічных камерах для ўзняцця пласцін або падложак падчас апрацоўкі, награвання або астуджэння. Вырабленыя з 99,8% аксіду алюмінію або нітрыду крэмнію, гэтыя штыфты забяспечваюць высокую трываласць на сціск, тэрмічную стабільнасць і хімічную ўстойлівасць. Паўсферычная або плоская канструкцыя наканечніка прадухіляе драпіны на пласціне.
