-
Індывідуальная апрацоўка керамічнага патрона для пласцін Al2O3
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
ST.CERA Керамічная пласціна для паўправадніковага абсталявання на заказ
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
12-цалевы вакуумны патрон з аксіду алюмінію для апрацоўкі 300-міліметровых пласцін
12-цалевы вакуумны патрон St.Cera выраблены з дакладнасцю з 99,8% высакаякаснага аксіду алюмінію (Al₂O₃) для апрацоўкі пласцін дыяметрам 300 мм. Патрон мае дробна рыфленую паверхню (шырыня канаўкі 0,5–1,0 мм, крок канаўкі 2–3 мм), што забяспечвае раўнамернае размеркаванне вакууму па ўсім дыяметры 300 мм. Плоскаснасць падтрымліваецца ў межах 5 мкм, што дазваляе фіксаваць пласціны без дэфармацыі падчас нарэзкі, шліфоўкі адваротнага боку і кантролю. Высокая трываласць матэрыялу на выгіб (361 МПа) і цвёрдасць (16 ГПа) гарантуюць доўгатэрміновую стабільнасць памераў нават пры паўторных цыклах вакуумавання.
-
Керамічныя запасныя часткі для паўправадніковага зондавага абсталявання
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
Керамічная пласціна паўправадніковага абсталявання
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
Керамічныя запасныя часткі для паўправадніковага абсталявання
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
Высокачыстае керамічнае ўшчыльняльнае кольца з аксіду алюмінію для герметызацыі высокатэмпературных камер
Керамічнае ўшчыльняльнае кольца St.Cera распрацавана ў якасці альтэрнатывы палімерным O-вобразным кольцам у экстрэмальных умовах, дзе раскладаюцца эластамеры. Гэта жорсткае ўшчыльняльнае кольца, вырабленае з 99,8% высокачыстага аксіду алюмінію (Al₂O₃), выкарыстоўваецца ў статычных герметызацыях — звычайна ў пары з мяккай металічнай або графітавай пракладкай — для забеспячэння надзейнага вакууму або ўтрымання газу пры тэмпературах да 800°C і ў агрэсіўных плазменных або хімічных асяроддзях. Матэрыял забяспечвае нулявое газавыдзяленне, высокую трываласць на сціск (базавая трываласць на выгіб 361 МПа) і хімічную інертнасць (устойлівы да галагенаў, кіслот і шчолачаў, акрамя HF). Дакладна адшліфаваныя ўшчыльняльныя паверхні (плоскасць ≤5 мкм, шурпатасць паверхні Ra ≤0,2 мкм) забяспечваюць герметычны кантакт з адпаведнымі металічнымі або керамічнымі кампанентамі.
-
Высокачыстае кольца факусоўкі з аксіду алюмінію для сістэм плазменнага травлення і CVD
Факусавальнае кольца камеры St.Cera з'яўляецца найважнейшым кампанентам тэхналагічнага набору, які выкарыстоўваецца ў абсталяванні для плазменнага травлення, CVD і PVD паўправадніковых працэсаў. Вырабленае з 99,8% высокачыстага аксіду алюмінію (Al₂O₃), кольца акружае край пласціны, каб утрымліваць плазму і аптымізаваць вуглавое размеркаванне іонаў, тым самым паляпшаючы аднастайнасць травлення па ўсёй паверхні пласціны. Матэрыял валодае выключнай плазмаўстойлівасцю, высокай дыэлектрычнай трываласцю (15×10⁶ В/м) і тэрмічнай стабільнасцю да 1600°C, што забяспечвае доўгатэрміновую надзейнасць у агрэсіўных плазменных асяроддзях на аснове фтору або хлору. Дакладна адшліфаваны ўнутраны/знешні дыяметр і плоскаснасць (≤10 мкм) дазваляюць дакладна пазіцыянаваць край пласціны, памяншаючы дэфекты краёў і ўтварэнне часціц.
-
Керамічнае кольца з высокачыстага аксіду алюмінію для працэсных камер CVD / PVD
Керамічнае кольца St.Cera спецыяльна распрацавана для выкарыстання ў працэсных камерах CVD (хімічнае асаджэнне з паравой фазы) і PVD (фізічнае асаджэнне з паравой фазы). Вырабленае з 99,8% высокачыстага аксіду алюмінію (Al₂O₃), гэта кольца служыць укладышам камеры, факусуючым кольцам або кампанентам працэснага камплекта для ўтрымання плазмы і абароны сценак камеры ад эрозіі. Матэрыял валодае выдатнай плазмаўстойлівасцю, высокай дыэлектрычнай трываласцю (15×10⁶ В/м) і тэрмічнай стабільнасцю да 1600°C, што забяспечвае працяглы тэрмін службы ў агрэсіўных плазменных асяроддзях на аснове фтору. Дакладныя памерныя допускі (±0,05 мм па ўнутраным/вонкавым дыяметры) і плоскаснасці (≤10 мкм) дазваляюць забяспечыць паслядоўнае пазіцыянаванне краёў пласціны, паляпшаючы аднастайнасць асаджэння і памяншаючы ўтварэнне часціц.
-
Порысты керамічны вакуумны патрон для апрацоўкі дэфармаваных пласцін
Керамічны патрон St.Cera з порыстай паверхні выраблены з высакаякаснага аксіду алюмінію з аднастайнай адкрытай порыстасцю 30–45% і памерамі пор ад 10 да 100 мкм. У адрозненне ад звычайных патронаў з канаўкамі, порыстая паверхня забяспечвае размеркаваны вакуум па ўсёй адваротнай паверхні пласціны, эфектыўна ўтрымліваючы дэфармаваныя, тонкія або адзінкавыя пласціны без адрыву або паломкі краёў. Мяккі вакуум (рэгулюецца з дапамогай абмежавальніка) таксама прадухіляе з'яўленне слядоў на адваротным баку.
-
Вакуумны патрон з порыстай керамікі на аснове аксіду алюмінію для апрацоўкі тонкіх пласцін
Патрон St.Cera на аснове аксіду алюмінію выраблены з высокачыстага Al₂O₃ (99,6%) з кантраляванай адкрытай парыстасцю 30–45% і аднастайным памерам пор ад 10 да 50 мкм. У адрозненне ад паторыстых патронаў, парыстая паверхня забяспечвае размеркаваны вакуум па ўсёй адваротнай паверхні пласціны, што ліквідуе сляды на краях і дазваляе акуратна ўтрымліваць ультратонкія (≤100 мкм) або дэфармаваныя пласціны. Матэрыял мае трываласць на выгіб ≥250 МПа і тэрмаўстойлівасць да 400°C на паветры.
-
Газаразмеркавальная пласціна з аксіду алюмінію для душавой галоўкі з CVD/PVD-метадам
Газаразмеркавальная пласціна (душавая галоўка) St.Cera выраблена з высокачыстай керамікі з аксіду алюмінію 99,8%. Яна мае мноства мікраадтулін (дыяметрам 0,3–1,5 мм), якія забяспечваюць раўнамерны паток газу па паверхні пласціны падчас працэсаў CVD, PVD або ALD. Высокая дыэлектрычная трываласць пласціны (>15×10⁶ В/м) і плазменная ўстойлівасць робяць яе неабходнай для нанясення тонкіх плёнак паўправаднікоў.
